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3D白光干涉儀替代激光共聚焦在半導體超精密形貌測量的應用（3...

半導體與精密制造領域中，工件直線度、微觀形貌精準測量是品質管控核心環節。激光共聚焦顯微鏡（LCM）拼接檢測普遍存在波紋抖動、形貌錯位、數據失真等問題，無法滿足IS...

3D白光干涉儀替代激光共聚焦在半導體超精密形貌測量的應用（3D White Light Interferometer Replace LCM for Semiconductor Ultra-Precision Morphology Measurement）

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微透鏡陣列（Microlens Array）平整度（Flat...

微透鏡陣列（Microlens Array, MLA）是光電成像、光場傳感、精密光刻領域核心微納光學元件，其基底平整度（Flatness）與單元高度一致性（Hei...

微透鏡陣列（Microlens Array）平整度（Flatness）與高度一致性（Height Consistency），采用白光干涉儀進行全域測量

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基于光學輪廓測量的 LNG 深冷蝶閥平面度管控技術

LNG深冷蝶閥（LNG cryogenic butterfly valve）是液化天然氣儲運系統的核心密封設備，長期處于-162℃超低溫工況服役。低溫環境易引發閥...

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LNG 深冷硬密封蝶閥平面度形變機理與光學輪廓測量表征

LNG（Liquefied Natural Gas，液化天然氣）深冷硬密封蝶閥是低溫儲運管路的核心流體控制設備，長期在-163℃超低溫工況運行，其密封面Flatn...

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