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在半導體、精密制造領域，工件直線度與微觀形貌的精準測量是質(zhì)量管控的核心環(huán)節(jié)。激光共聚焦顯微鏡（Laser Confocal Microscope, LCM）拼接檢...

大視野3D白光干涉儀解決激光共聚焦拼接波紋抖動難題（Large Field 3D White Light Interferometer Solve LCM Splicing Ripple Jitter Problem）

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