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白光干涉儀（White Light Interferomet...

超薄薄膜（Ultra-thin Film）是光電傳感、精密光學鍍膜、半導體微電子領域的核心功能材料。薄膜制備常用的磁控濺射（Magnetron Sputterin...

白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）高精度表征下超薄薄膜（Ultra-thin Film）表面瑕疵與工藝誤差關聯性研究

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超臨界 CO?設備密封平面度工藝質控及光學輪廓測量技術應用

超臨界二氧化碳（Supercritical CO?, scCO?）設備長期服役于高溫高壓嚴苛工況，密封端面平面度（Sealing Flatness）是保障設備氣密...

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延長光伏組件服役壽命（Service Life），白光干涉儀完成微米級（Micron Level）激光劃線深度標準化檢測

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