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激光共聚焦痛點與3D白光干涉儀技術(shù)突破

在半導(dǎo)體及超精密制造領(lǐng)域，表面粗糙度測量精度直接決定產(chǎn)品質(zhì)量與服役性能。激光共聚焦顯微鏡（LCM）存在工業(yè)樣品檢測偏差大、重復(fù)性差的行業(yè)共性問題，但其標準塊檢測數(shù)...

激光共聚焦痛點與3D白光干涉儀技術(shù)突破

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煤粉/灰渣輸送閥平面度工藝管控及光學(xué)輪廓測量質(zhì)檢技術(shù)

煤粉/灰渣輸送閥（Coal Powder/Ash Conveying Valve）是火電、煤化工氣力輸送系統(tǒng)（Pneumatic Conveying System...

煤粉/灰渣輸送閥平面度工藝管控及光學(xué)輪廓測量質(zhì)檢技術(shù)

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全面優(yōu)化 FPC 柔性電路封裝制程，依托光學(xué) 3D 輪廓儀快...

FPC柔性印刷電路（Flexible Printed Circuit）憑借高彎折性、輕量化優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于消費電子與半導(dǎo)體封裝領(lǐng)域，其封裝制程中產(chǎn)生的板面翹曲不良...

全面優(yōu)化 FPC 柔性電路封裝制程，依托光學(xué) 3D 輪廓儀快速篩查板面翹曲不良（Warpage Defect）

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MEMS 傳感器基底粗糙度（Roughness of MEM...

摘要MEMS傳感器基底（MEMS Sensor Substrate）的表面形貌直接決定器件傳感噪聲、鍵合（Bonding）可靠性及長期工作穩(wěn)定性。硅基底拋光、薄膜...

MEMS 傳感器基底粗糙度（Roughness of MEMS Sensor Substrate）、劃痕凸起（Scratch Protrusion）缺陷檢測，采用白光干涉儀方案

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