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超臨界CO?設備密封平面度對防滲漏性能的光學輪廓測量分析

超臨界二氧化碳（Supercritical CO?, scCO?）設備長期處于高溫、高壓強滲透工況，密封端面平面度（Sealing Flatness）是管控介質滲...

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超薄薄膜表面（Ultra-thin Film Surface...

摘要超薄薄膜（Ultra?thin Film）是微納光學、半導體（Semiconductor）、微機電系統（MEMS）器件的核心功能層。鍍膜（Coating）、磁...

超薄薄膜表面（Ultra-thin Film Surface）微納工藝異常的精準檢測：白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）技術優勢與應用實踐

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骨植入體孔隙深度不均，白光干涉儀核驗醫用成型工藝

多孔骨植入體（Porous Bone Implant）的孔隙深度（Pore Depth）是支撐骨組織浸潤、細胞錨定與軟組織貼合的關鍵三維參數。在3D打印、粉末燒結...

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基于白光干涉儀（White Light Interfer...

摘要超薄薄膜工件（Ultra-thin Film Workpiece）廣泛應用于半導體晶圓（Wafer）、鈣鈦礦光伏膜層、微機電系統（MEMS）功能膜層等精密制造...

基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）大視場全域檢測的超薄薄膜工件（Ultra-thin Film Workpiece）工藝缺陷甄別研究

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