傳統(tǒng)截面測(cè)量易因樣品差異造成取樣偏移，數(shù)據(jù)偏差大；面臺(tái)階測(cè)量可有效杜絕此類(lèi)誤差。

傳統(tǒng)大視野面測(cè)受光學(xué)限制，XY 精度難以兼顧，加裝光譜模塊即可完美兼顧粗糙度測(cè)量。

納米精密檢測(cè)設(shè)備搭載自動(dòng)點(diǎn)位測(cè)量與智能OK NG判定功能，大幅提速，適配批量全檢作業(yè)。

專(zhuān)屬獨(dú)特光路架構(gòu)，非透明樣品支持上下表面同時(shí)掃描，可精準(zhǔn)檢測(cè)厚度均勻性與面平行度