高精度檢測 MEMS 麥克風(fēng)振膜振動參數(shù)與模態(tài)，快速排查結(jié)構(gòu)問題。實測對標仿真優(yōu)化結(jié)構(gòu)，提升聲學(xué)靈敏度與頻響表現(xiàn)。 | 
壓力傳感膜片振動與形變，排查應(yīng)力及工藝缺陷，對標仿真優(yōu)化結(jié)構(gòu)，提升精度響應(yīng)，兼顧可靠性測試與量產(chǎn)質(zhì)檢。 | 
MEMS 懸臂梁振動模態(tài)、諧振頻率與形變，排查應(yīng)力缺陷，對標仿真優(yōu)化結(jié)構(gòu)，提升傳感靈敏度，適配研發(fā)調(diào)校與量產(chǎn)質(zhì)檢。 |
壓力傳感器感壓膜片的振動模態(tài)、固有頻率與形變分布，排查應(yīng)力不均、工藝缺陷；實測數(shù)據(jù)對標仿真優(yōu)化結(jié)構(gòu)。 | 
CMUT 振膜高頻振動模態(tài)、頻響檢測，排查缺陷；對標仿真優(yōu)化結(jié)構(gòu)，提升換能效率與帶寬；校準陣列單元一致性。 | 
CMUT 振膜高頻振動模態(tài)、頻響檢測，排查缺陷；對標仿真優(yōu)化結(jié)構(gòu)，提升換能效率與帶寬；校準陣列單元一致性。 |