1 鈣鈦礦電池死區寬度成因及工藝影響

鈣鈦礦電池組件規模化生產中，激光刻蝕形成的邊緣無效區域即為電池死區，主要位于P1、P2、P3刻蝕溝槽邊緣及電池片串間銜接位置。死區無光電發電能力，僅承擔絕緣隔離與電路導通作用，其寬度尺寸直接決定組件有效受光面積大小。死區寬度越寬，電池有效發電區域占比越小，幾何填充因子GFF數值隨之降低，直接制約組件光電轉換效率與量產功率增益。刻蝕工藝偏差、邊緣形貌毛刺、薄膜層殘留及溝槽側壁輪廓不規則，均會造成死區寬度一致性差、實際尺寸偏離設計標準，精準把控死區寬度并嚴控全域均勻性，是提升GFF、拔高鈣鈦礦電池量產發電性能的核心關鍵環節。

2 傳統死區寬度測量方式現存不足

當前鈣鈦礦行業常規檢測手段難以滿足死區寬度高精度精細化管控需求。普通光學顯微鏡僅能完成二維平面目視觀測，只能粗略估測死區宏觀寬度，無法識別邊緣微觀毛刺、薄膜臺階起伏帶來的實際有效死區偏差，測量精度低、數據重復性差。接觸式輪廓儀易劃傷鈣鈦礦功能性薄膜，破壞電池樣品完整性，且僅能單點采集輪廓數據，無法匹配全域死區邊緣形貌同步檢測需求。傳統測量模式無法同步關聯寬度尺寸與表面微觀形貌，難以為工藝微調提供精準數據，嚴重制約GFF優化提升效率。

3 白光干涉高精度測量賦能GFF優化升級

白光干涉儀依托非接觸短相干干涉測量技術，專為鈣鈦礦電池死區寬度檢測打造高精度一體化測量方案。設備無需接觸樣品，全程無損保護電池薄膜結構，單次掃描即可精準標定死區實際邊緣邊界，快速測量全域死區寬度數值，同步采集邊緣三維形貌、臺階高度及側壁粗糙度等關聯參數。通過3D形貌可視化成像與量化數據分析，可精準識別刻蝕殘留、邊緣畸變等造成的死區超標問題，為激光刻蝕功率、掃描速度等工藝參數調校提供直觀數據依據，持續壓縮無效死區寬度、提升電池有效受光面積，穩步優化幾何填充因子GFF，助力鈣鈦礦電池組件量產性能提質增效。新啟航 專業提供綜合光學3D測量方案。

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涂層表征實測應用圖示

（圖示為實測涂層厚度，精準測得75.2nm，為涂層厚度一致性管控提供可靠數據支撐）

（圖示為涂層厚度專項測量，清晰呈現涂層厚度分布，助力涂層工藝優化）

（圖示為涂層劃痕分析，測得劃痕厚度1.96μm，精準捕捉涂層劃痕細節，為涂層缺陷檢測與耐用性評估提供依據）

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