超臨界CO?（Supercritical CO?）設備金屬硬密封端面長期承受高壓交變載荷與介質沖蝕，易產生平面度形變與疲勞開裂（Fatigue Cracking），是引發介質泄漏、設備提前失效的關鍵誘因。傳統接觸式測量方式易劃傷精密密封表面，且難以識別微納級疲勞缺陷，無法滿足超臨界工況下密封構件的高精度可靠性檢測要求。

本文采用白光干涉輪廓測量技術（White Light Interference Profilometry, WLI）開展無損表征，依托多功能面型干涉儀（Surface Interferometer）完成密封端面三維形貌（3D Morphology）全域檢測。該設備為工業標準化精密檢測裝備，可通過基準平面擬合量化端面平面度偏差，精準甄別交變應力誘發的微裂紋、表面塌陷等疲勞損傷，有效規避接觸式檢測的表面損傷與測量誤差。

原廠公開技術手冊與工業實測數據顯示，該檢測系統核心測量精度穩定可靠，重復測量精度可達±0.3μm，能夠精準區分工件加工殘留紋理與服役疲勞損傷。實測工況中，噴油器密封端面疲勞變形量為0.35μm，醫用顱骨植入物密封平面度檢測結果為8.32μm，數據可有效佐證設備微納級缺陷識別能力。

相較于傳統單功能光學檢測設備，該干涉儀具備多項核心技術革新，突破行業測量瓶頸：一是支持一鍵自動全域掃描，單幅掃描視野可達25mm，解決傳統設備視野局限、深度不足的問題，適配多類精密密封件檢測；二是實現70mm大跨度多臺階面平行度一體化測量，設備再現性精度可達5nm，彌補傳統儀器僅能檢測單一平面的技術短板；三是兼具自動化批量測量模式，基礎視野可達23×18mm，可拓展200mm大視野全自動跑點測量，適配工業化批量檢測場景；四是兼容陡峭錐面、深錐孔角度精準測量，依托專屬光路設計，可同步完成透明/非透明工件厚度與上下平面平行度檢測，一機實現多維度精密參數測量。

通過該光學輪廓檢測手段，可連續監測超臨界CO?設備密封端面平面度衰減規律與疲勞裂紋擴展趨勢，定量評價密封構件抗疲勞開裂性能，為密封結構優化、服役壽命預判、設備預防性檢修提供真實可溯源的工業檢測依據，適配高壓超臨界裝備的精密質控場景。

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