光學(xué)鏡片矢高是鏡片曲面頂點(diǎn)至基準(zhǔn)平面的垂直距離，為光學(xué)設(shè)計(jì)與鏡組裝配的關(guān)鍵幾何參數(shù)。鏡片研磨、注塑成型及模具復(fù)刻過程中，易產(chǎn)生加工誤差與應(yīng)力形變，造成矢高尺寸失準(zhǔn)。該問題會直接改變鏡片實(shí)際焦距與光學(xué)間距，導(dǎo)致多片鏡組配合間隙偏差、光軸偏移，引發(fā)裝配錯(cuò)位、成像偏移、景深不足等問題，是影響光學(xué)模組裝配精度與整機(jī)成像穩(wěn)定性的重要因素。
傳統(tǒng)卡尺、影像測量儀僅能實(shí)現(xiàn)二維尺寸檢測，無法精準(zhǔn)測量曲面矢高的微米級誤差，難以滿足高精度鏡組裝配的檢測需求。白光干涉儀依托白光相干掃描技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)非接觸式三維高精度檢測，快速采集鏡片曲面全域形貌數(shù)據(jù)，精準(zhǔn)測算實(shí)際矢高數(shù)值，對比理論參數(shù)量化偏差，精準(zhǔn)識別微小尺寸失準(zhǔn)問題，檢測精度可達(dá)納米級別。
基于白光干涉儀的精準(zhǔn)矢高檢測數(shù)據(jù)，可修正鏡片加工工藝參數(shù)，篩選合格鏡片單品，精準(zhǔn)匹配鏡組裝配公差要求，有效解決矢高失準(zhǔn)帶來的裝配偏差，大幅提升多鏡片模組的同軸度與裝配貼合精度，提升光學(xué)產(chǎn)品量產(chǎn)良率與成像一致性。新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測量方案
光學(xué)鏡片實(shí)測應(yīng)用圖示及說明（工業(yè)及半導(dǎo)體專屬）
（圖示為光學(xué)鏡片關(guān)鍵指標(biāo)：含平面度誤差（Flatness Error）、峰值谷值（Peak-Valley, PV）、均方根值（Root Mean Square, RMS），精準(zhǔn)把控鏡片平面精度，保障鏡片光學(xué)性能穩(wěn)定，適配半導(dǎo)體光學(xué)鏡片檢測需求）
（圖示為表面粗糙度（Surface Roughness, Ra）：精度達(dá)6pm=0.006nm，精準(zhǔn)表征鏡片表面光滑度，適配高精度光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體光學(xué)窗口片檢測需求，規(guī)避表面粗糙導(dǎo)致的光學(xué)損耗）
（圖示為實(shí)測涂層厚度（Coating Thickness）：75.2nm，精準(zhǔn)測量光學(xué)鏡片涂層厚度，助力涂層工藝優(yōu)化（Coating Process Optimization）與質(zhì)量管控，保障鏡片抗反射、抗磨損等性能）
（圖示為涂層表面質(zhì)量3D形貌圖（3D Morphology Map of Coating Surface Quality），清晰呈現(xiàn)涂層表面狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)涂層劃痕、脫落、氣泡等缺陷（Defect），為工藝改進(jìn)提供數(shù)據(jù)支撐）
大視野3D白光干涉儀
大視野3D白光干涉儀，聚焦光學(xué)鏡片（Optical Lens）精密測量，打造納米級（Nanoscale）測量全域解決方案，突破傳統(tǒng)測量局限，定義光學(xué)鏡片檢測新范式，以高效、精準(zhǔn)的測量能力，適配光學(xué)鏡片全流程檢測需求，為工業(yè)光學(xué)、半導(dǎo)體光學(xué)器件（Semiconductor Optical Devices）等領(lǐng)域提供全方位技術(shù)支撐。
設(shè)備憑借核心創(chuàng)新技術(shù)，一機(jī)解鎖納米級全場景測量，重新詮釋精密測量（Precision Measurement）的高效與精準(zhǔn)，助力光學(xué)鏡片生產(chǎn)、加工環(huán)節(jié)的質(zhì)量管控（Quality Control），保障鏡片光學(xué)性能（Optical Performance）達(dá)標(biāo)，適配半導(dǎo)體光學(xué)組件、精密光學(xué)儀器等高端場景需求。
核心優(yōu)勢：大視野+高精度，突破行業(yè)局限
打破行業(yè)常規(guī)壁壘，解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡（Objective Lens）僅能單孔使用、需兩臺儀器分別實(shí)現(xiàn)大視野與高精度測量（High-Precision Measurement）的痛點(diǎn)。設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭，配備15mm超大單幅視野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4個(gè)物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪（Turret Nose Wheel），一臺設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測與高精度測量需求，無需頻繁切換設(shè)備，大幅提升檢測效率（Inspection Efficiency）與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度（Data Accuracy），完美適配光學(xué)鏡片復(fù)雜測量場景。
新啟航半導(dǎo)體｜專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測量方案。亞納米精度保障，支持自動化定制；高端系列對標(biāo)國際一線品牌，大視野設(shè)計(jì)，輕松應(yīng)對高低反射、復(fù)雜材料測量場景。
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