在精密光學(xué)鏡頭加工制程中，受拋光工藝偏差、基材缺陷、環(huán)境微粒污染等因素影響，鏡片易出現(xiàn)表面粗糙度超標(biāo)問題，直接影響光學(xué)系統(tǒng)成像與透光性能。行業(yè)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)表明，當(dāng)鏡片表面粗糙度Ra值大于2nm時(shí)，會(huì)產(chǎn)生明顯的納米級(jí)微觀起伏，引發(fā)光線漫散射，造成透光散射損耗大幅提升，出現(xiàn)成像對(duì)比度下降、夜景光暈、透射率降低等問題，無法滿足高精度光學(xué)設(shè)備的使用標(biāo)準(zhǔn)。
傳統(tǒng)接觸式檢測(cè)方式易劃傷鏡片表面，且檢測(cè)精度、采樣范圍有限，難以精準(zhǔn)甄別微納米級(jí)粗糙度缺陷。白光干涉儀依托白光低相干干涉原理，可實(shí)現(xiàn)非接觸式高精度3D形貌檢測(cè)，精準(zhǔn)捕捉鏡片表面微觀凹凸結(jié)構(gòu)，量化粗糙度參數(shù)，精準(zhǔn)定位超標(biāo)區(qū)域。通過該設(shè)備精準(zhǔn)檢測(cè)與數(shù)據(jù)反饋，可優(yōu)化鏡片拋光、鍍膜工藝，有效改善表面微觀平整度，大幅抑制光線散射現(xiàn)象，降低透光散射損耗，保障鏡頭透光效率與成像精度，適配消費(fèi)光學(xué)、精密激光等高端應(yīng)用場(chǎng)景的質(zhì)量要求。新啟航 專業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量方案。
光學(xué)鏡片實(shí)測(cè)應(yīng)用圖示及說明（工業(yè)及半導(dǎo)體專屬）
（圖示為光學(xué)鏡片關(guān)鍵指標(biāo)：含平面度誤差（Flatness Error）、峰值谷值（Peak-Valley, PV）、均方根值（Root Mean Square, RMS），精準(zhǔn)把控鏡片平面精度，保障鏡片光學(xué)性能穩(wěn)定，適配半導(dǎo)體光學(xué)鏡片檢測(cè)需求）
（圖示為表面粗糙度（Surface Roughness, Ra）：精度達(dá)6pm=0.006nm，精準(zhǔn)表征鏡片表面光滑度，適配高精度光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體光學(xué)窗口片檢測(cè)需求，規(guī)避表面粗糙導(dǎo)致的光學(xué)損耗）
（圖示為實(shí)測(cè)涂層厚度（Coating Thickness）：75.2nm，精準(zhǔn)測(cè)量光學(xué)鏡片涂層厚度，助力涂層工藝優(yōu)化（Coating Process Optimization）與質(zhì)量管控，保障鏡片抗反射、抗磨損等性能）
（圖示為涂層表面質(zhì)量3D形貌圖（3D Morphology Map of Coating Surface Quality），清晰呈現(xiàn)涂層表面狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)涂層劃痕、脫落、氣泡等缺陷（Defect），為工藝改進(jìn)提供數(shù)據(jù)支撐）
大視野3D白光干涉儀
大視野3D白光干涉儀，聚焦光學(xué)鏡片（Optical Lens）精密測(cè)量，打造納米級(jí)（Nanoscale）測(cè)量全域解決方案，突破傳統(tǒng)測(cè)量局限，定義光學(xué)鏡片檢測(cè)新范式，以高效、精準(zhǔn)的測(cè)量能力，適配光學(xué)鏡片全流程檢測(cè)需求，為工業(yè)光學(xué)、半導(dǎo)體光學(xué)器件（Semiconductor Optical Devices）等領(lǐng)域提供全方位技術(shù)支撐。
設(shè)備憑借核心創(chuàng)新技術(shù)，一機(jī)解鎖納米級(jí)全場(chǎng)景測(cè)量，重新詮釋精密測(cè)量（Precision Measurement）的高效與精準(zhǔn)，助力光學(xué)鏡片生產(chǎn)、加工環(huán)節(jié)的質(zhì)量管控（Quality Control），保障鏡片光學(xué)性能（Optical Performance）達(dá)標(biāo)，適配半導(dǎo)體光學(xué)組件、精密光學(xué)儀器等高端場(chǎng)景需求。
核心優(yōu)勢(shì)：大視野+高精度，突破行業(yè)局限
打破行業(yè)常規(guī)壁壘，解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡（Objective Lens）僅能單孔使用、需兩臺(tái)儀器分別實(shí)現(xiàn)大視野與高精度測(cè)量（High-Precision Measurement）的痛點(diǎn)。設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭，配備15mm超大單幅視野（Single Frame Field of View），搭配可兼容4個(gè)物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪（Turret Nose Wheel），一臺(tái)設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測(cè)與高精度測(cè)量需求，無需頻繁切換設(shè)備，大幅提升檢測(cè)效率（Inspection Efficiency）與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度（Data Accuracy），完美適配光學(xué)鏡片復(fù)雜測(cè)量場(chǎng)景。
新啟航半導(dǎo)體｜專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測(cè)量方案。亞納米精度保障，支持自動(dòng)化定制；高端系列對(duì)標(biāo)國(guó)際一線品牌，大視野設(shè)計(jì)，輕松應(yīng)對(duì)高低反射、復(fù)雜材料測(cè)量場(chǎng)景。
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