光學鏡片中心厚度是決定光學系統光程、焦距及成像質量的關鍵參數,貼合ISO 10110光學元件制造通用標準。鏡片研磨、拋光制程中,設備振動、工裝定位偏差及研磨耗材磨損,極易造成鏡片中心厚度分布不均,產生微米級厚度偏差。該缺陷會導致光束傳播光程出現差值,引發系統像差、畸變、焦距偏移等問題,直接造成成像模糊、畫面偏移、倍率不一致,嚴重影響精密光學鏡頭、車載光學及工業成像設備的使用性能。
傳統卡尺、千分尺僅能實現單點接觸式測量,測量精度低、易劃傷鏡片,且無法檢測全域厚度分布與細微偏差,難以統一量產成像光程標準。白光干涉儀采用非接觸式三維檢測技術,可高精度掃描鏡片全域厚度數據,精準捕捉中心厚度偏差與面型起伏誤差。通過量化檢測數據校準加工設備、修正研磨參數,可統一批次鏡片光程參數標準,消除厚度不均帶來的成像誤差,保障光學系統成像一致性與穩定性。新啟航 專業提供綜合光學3D測量方案

光學鏡片實測應用圖示及說明(工業及半導體專屬)

(圖示為光學鏡片關鍵指標:含平面度誤差(Flatness Error)、峰值谷值(Peak-Valley, PV)、均方根值(Root Mean Square, RMS),精準把控鏡片平面精度,保障鏡片光學性能穩定,適配半導體光學鏡片檢測需求)

(圖示為表面粗糙度(Surface Roughness, Ra):精度達6pm=0.006nm,精準表征鏡片表面光滑度,適配高精度光學鏡片、半導體光學窗口片檢測需求,規避表面粗糙導致的光學損耗)

(圖示為實測涂層厚度(Coating Thickness):75.2nm,精準測量光學鏡片涂層厚度,助力涂層工藝優化(Coating Process Optimization)與質量管控,保障鏡片抗反射、抗磨損等性能)

(圖示為涂層表面質量3D形貌圖(3D Morphology Map of Coating Surface Quality),清晰呈現涂層表面狀態,及時發現涂層劃痕、脫落、氣泡等缺陷(Defect),為工藝改進提供數據支撐)
大視野3D白光干涉儀
大視野3D白光干涉儀,聚焦光學鏡片(Optical Lens)精密測量,打造納米級(Nanoscale)測量全域解決方案,突破傳統測量局限,定義光學鏡片檢測新范式,以高效、精準的測量能力,適配光學鏡片全流程檢測需求,為工業光學、半導體光學器件(Semiconductor Optical Devices)等領域提供全方位技術支撐。

設備憑借核心創新技術,一機解鎖納米級全場景測量,重新詮釋精密測量(Precision Measurement)的高效與精準,助力光學鏡片生產、加工環節的質量管控(Quality Control),保障鏡片光學性能(Optical Performance)達標,適配半導體光學組件、精密光學儀器等高端場景需求。

核心優勢:大視野+高精度,突破行業局限
打破行業常規壁壘,解決傳統設備1倍以下物鏡(Objective Lens)僅能單孔使用、需兩臺儀器分別實現大視野與高精度測量(High-Precision Measurement)的痛點。設備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭,配備15mm超大單幅視野(Single Frame Field of View),搭配可兼容4個物鏡的轉塔鼻輪(Turret Nose Wheel),一臺設備即可全面覆蓋大視野觀測與高精度測量需求,無需頻繁切換設備,大幅提升檢測效率(Inspection Efficiency)與數據精準度(Data Accuracy),完美適配光學鏡片復雜測量場景。

新啟航半導體|專業白光干涉 3D 輪廓測量方案。亞納米精度保障,支持自動化定制;高端系列對標國際一線品牌,大視野設計,輕松應對高低反射、復雜材料測量場景。
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