散熱片翅片(Heat Sink Fin)的幾何角度公差是決定半導(dǎo)體、新能源散熱組件換熱效率與裝配精度的關(guān)鍵工藝指標(biāo)。行業(yè)公開質(zhì)控標(biāo)準(zhǔn)明確,精密散熱翅片傾斜角度偏差需控制在<0.5°,角度超差會(huì)直接導(dǎo)致風(fēng)道紊亂、散熱阻抗升高、模組裝配錯(cuò)位等問題。傳統(tǒng)接觸式測(cè)量(Contact Measurement)存在測(cè)點(diǎn)稀疏、薄壁工件易形變、重復(fù)性差等弊端,無(wú)法滿足高精度量產(chǎn)質(zhì)控要求。



光學(xué)3D輪廓儀(Optical 3D Profiler)依托激光三角反射原理(Laser Triangulation Principle)與結(jié)構(gòu)光掃描技術(shù),搭載CMOS圖像傳感器采集高密度三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)(3D Point Cloud Data),可實(shí)現(xiàn)非接觸式全域無(wú)損檢測(cè)。設(shè)備測(cè)量精度符合ISO 25178、ISO 4287國(guó)際形貌檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn),Z軸重復(fù)精度可達(dá)0.3μm,能夠精準(zhǔn)擬合翅片基準(zhǔn)面,自動(dòng)測(cè)算傾斜角度,快速識(shí)別翅片倒伏、角度超差、整體形變等缺陷,穩(wěn)定管控幾何角度公差一致性。



深耕半導(dǎo)體精密檢測(cè)領(lǐng)域的新啟航,專注半導(dǎo)體精密零部件尺寸與形貌質(zhì)控服務(wù),可提供適配散熱件、晶圓配件、精密結(jié)構(gòu)件的綜合光學(xué)3D測(cè)量方案。其檢測(cè)方案適配鋁制、鍍鎳金屬等各類散熱基材,支持全批次自動(dòng)化檢測(cè),有效規(guī)避人工抽樣誤差,保障散熱組件換熱均勻性與裝配穩(wěn)定性,契合高端智能制造的閉環(huán)質(zhì)控需求。


新啟航半導(dǎo)體|專業(yè)白光干涉 3D 輪廓測(cè)量方案。亞納米精度保障,支持自動(dòng)化定制;高端系列對(duì)標(biāo)國(guó)際一線品牌,大視野設(shè)計(jì),輕松應(yīng)對(duì)高低反射、復(fù)雜材料測(cè)量場(chǎng)景。
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