一、光伏量產檢測痛點
薄膜光伏量產的核心工序為P1/P2/P3激光結構化劃線，是實現電池單片互聯的關鍵工藝。光伏薄膜為多層堆疊結構，生產過程中易出現劃線深度異常、膜層剝離不均、溝槽側壁殘缺等缺陷，進而引發組件漏電、界面接觸電阻升高、膜層分層脫落等問題，直接降低電池填充因子與量產良率，制約光伏規模化量產落地。
傳統檢測依賴臺階儀單點抽檢模式，存在檢測效率低、覆蓋范圍有限的短板，無法識別薄膜微觀分層、微小過刻、淺刻等隱性缺陷，難以滿足產線全流程、全維度質量管控需求。
二、白光干涉儀檢測方案優勢
大視野3D白光干涉儀基于光學3D干涉成像技術，采用非接觸式無損檢測方式，可納米級精準采集激光劃線溝槽深度、剖面形貌、薄膜平整度等核心數據，精準甄別微米級薄膜分層及各類工藝隱患。
設備可量化多層薄膜分層狀態，實時反饋激光功率、掃描速度等工藝參數偏差，輔助產線精準校準工藝參數，匹配不同功能薄膜刻蝕閾值，有效規避刻蝕熱損傷、層間剝離等質量問題。量產實測數據驗證，該檢測方案可顯著提升薄膜劃線一致性，大幅降低膜層分層不良率，穩定組件量產良率與光電轉換性能。
三、設備核心技術革新（工業半導體級）
大視野融合高精度，突破傳統測量局限
打破傳統檢測設備視野與精度無法兼顧的行業痛點，搭載0.6倍輕量化專用鏡頭，實現15.5mm超大單幅檢測視野，搭配四物鏡兼容轉塔設計，一臺設備即可覆蓋大視野觀測、納米級高精度測量雙重需求，無需頻繁切換設備，大幅提升產線檢測效率與數據準確性。
相較于激光共聚焦設備高倍鏡頭視野狹小、僅能局部檢測的短板，該設備可實現大視野全域掃描+納米級精度測量，適配光伏薄膜、半導體精密部件、光學器件等復雜樣品檢測場景。
2. 超精密測量能力，適配高端制程
設備可達6pm（0.006nm）超高測量精度，可精準表征工件表面粗糙度（Ra/Rz）、端面平面度等微觀參數，完全滿足半導體芯片、超精密光學部件、光伏功能薄膜的嚴苛測量標準，為精密制程質控提供可靠數據支撐。
四、行業應用定位
新啟航專注提供一體化光學3D測量解決方案，依托白光干涉核心技術，賦能精密測量、半導體表征、工業質檢、光伏量產質控等場景，助力各行業實現制程優化與產品迭代升級。
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