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白光干涉儀（White Light Interferomet...

摘要超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）是半導體晶圓、精密光學基底、微機電系統（MEMS）基底等高端制造領域的核心基材，其拋光、化學機械拋光（Ch...

白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）形貌測量技術在超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）加工工藝優化中的異常分析應用

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鏡片鍍膜厚度偏移，白光干涉儀核驗光學鍍膜制程

光學鏡片（Optical Lens）鍍膜制程中，鍍膜厚度（Coating Thickness）是決定膜系光學性能的核心參數。物理氣相沉積（PVD）、磁控濺射等工藝...

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基于光學輪廓測量的加氫密封件平面度熱變形研究

高壓加氫反應器（High-pressure Hydrogenation Reactor）是石化加氫工藝核心承壓設備，其密封件（Sealing Component）...

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超光滑表面（Ultra-smooth Surface）微納...

摘要超光滑表面廣泛應用于半導體、精密光學、微機電系統（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）器件制造領域，拋光、鍍膜制程易產...

超光滑表面（Ultra-smooth Surface）微納工藝異常的精準檢測，白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）技術優勢與應用實踐

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