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基于光學(xué)輪廓測量的加氫密封件平面度熱變形研究

高壓加氫反應(yīng)器（High-pressure Hydrogenation Reactor）是石化加氫工藝核心承壓設(shè)備，其密封件（Sealing Component）...

基于光學(xué)輪廓測量的加氫密封件平面度熱變形研究

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超光滑表面（Ultra-smooth Surface）微納...

摘要超光滑表面廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密光學(xué)、微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）器件制造領(lǐng)域，拋光、鍍膜制程易產(chǎn)...

超光滑表面（Ultra-smooth Surface）微納工藝異常的精準檢測，白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）技術(shù)優(yōu)勢與應(yīng)用實踐

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基于白光干涉儀的晶圓表面粗糙度及加工工藝檢測分析

一、技術(shù)概述半導(dǎo)體超光滑晶圓構(gòu)件是高端芯片、精密光學(xué)、激光系統(tǒng)的核心基礎(chǔ)元件，其CMP拋光、研磨等工序易產(chǎn)生納米級劃痕、局部凹陷、顆粒凸起、面形畸變等微觀缺陷。傳...

基于白光干涉儀的晶圓表面粗糙度及加工工藝檢測分析

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基于白光干涉儀（White Light Interferom...

摘要超光滑工件（Ultra-smooth Workpiece）是半導(dǎo)體晶圓、精密光學(xué)基底、微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Syste...

基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）大視場全域檢測的超光滑工件工藝缺陷甄別研究

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