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          新啟航半導體有限公司


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          08
          2026
          -
          08
          白光干涉儀全域成像技術對超光滑樣品批量工藝異常的識別與分析
          正文超光滑樣品廣泛應用于半導體化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)晶圓、精密光學基底、微機電系統(tǒng)(Micro-El...
          白光干涉儀全域成像技術對超光滑樣品批量工藝異常的識別與分析
          07
          2026
          -
          08
          基于光學輪廓測量的核電級閥門平面度熱輻照變形(Thermal...
          核電級閥門(Nuclear-grade Valve)是核電系統(tǒng)流體調控、壓力隔離的核心承壓設備,其密封面平面度(Flatness)直接關乎核電機組運行安全性與密封...
          基于光學輪廓測量的核電級閥門平面度熱輻照變形(Thermal Irradiation Deformation)研究
          07
          2026
          -
          08
          骨植入體 表面粗糙度異常 白光干涉儀提升骨整合效果
          醫(yī)用骨植入體(Bone Implant)多采用鈦合金、陶瓷等生物材料,其表面粗糙度(Surface Roughness)是調控骨整合(Osseointegrati...
          骨植入體 表面粗糙度異常 白光干涉儀提升骨整合效果
          07
          2026
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          超光滑樣品(Ultra-smooth Sample)工藝畸變...
          摘要超光滑樣品廣泛應用于精密光學元件、半導體晶圓(Wafer)、微機電系統(tǒng)(MEMS)器件、鈣鈦礦功能薄膜等高端制造領域。樣品在拋光、鍍膜、轉運制程中,易產(chǎn)生全域...
          超光滑樣品(Ultra-smooth Sample)工藝畸變與微觀缺陷檢測:基于白光干涉儀(White Light Interferometer, WLI) 高精度表征方法
          • 共84頁
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