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超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）工藝畸變...

摘要超光滑樣品廣泛應(yīng)用于精密光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓（Wafer）、微機電系統(tǒng)（MEMS）器件、鈣鈦礦功能薄膜等高端制造領(lǐng)域。樣品在拋光、鍍膜、轉(zhuǎn)運制程中，易產(chǎn)生全域...

超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）工藝畸變與微觀缺陷檢測：基于白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）高精度表征方法

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光學(xué)鏡片微觀形貌缺陷頻發(fā)，白光干涉儀全維度把控鏡頭量產(chǎn)品

光學(xué)鏡片（Optical Lens）量產(chǎn)加工過程中，受超精研磨、拋光工藝誤差、工裝夾持應(yīng)力、環(huán)境粉塵及清洗工藝影響，極易產(chǎn)生各類微觀形貌缺陷。常見缺陷包含微觀劃痕...

光學(xué)鏡片微觀形貌缺陷頻發(fā)，白光干涉儀全維度把控鏡頭量產(chǎn)品

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光學(xué)輪廓測量在核電級硬密封閥門平面度檢測中的應(yīng)用

核電級硬密封閥門（Nuclear-grade Hard-seal Valve）是核電管路系統(tǒng)核心承壓密封構(gòu)件，其密封面平面度（Flatness）直接影響機組高低壓...

光學(xué)輪廓測量在核電級硬密封閥門平面度檢測中的應(yīng)用

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白光干涉儀（White Light Interferomet...

摘要超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）是半導(dǎo)體晶圓、精密光學(xué)基底、微機電系統(tǒng)（MEMS）基底等高端制造領(lǐng)域的核心基材，其拋光、化學(xué)機械拋光（Ch...

白光干涉儀（White Light Interferometer, WLI）形貌測量技術(shù)在超光滑樣品（Ultra-smooth Sample）加工工藝優(yōu)化中的異常分析應(yīng)用

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