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微透鏡陣列（Microlens Array）平整度（Flat...

微透鏡陣列（Microlens Array, MLA）是光電成像、光場傳感、精密光刻領域核心微納光學元件，其基底平整度（Flatness）與單元高度一致性（Hei...

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2026

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07

基于光學輪廓測量的 LNG 深冷蝶閥平面度管控技術

LNG深冷蝶閥（LNG cryogenic butterfly valve）是液化天然氣儲運系統的核心密封設備，長期處于-162℃超低溫工況服役。低溫環境易引發閥...

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2026

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LNG 深冷硬密封蝶閥平面度形變機理與光學輪廓測量表征

LNG（Liquefied Natural Gas，液化天然氣）深冷硬密封蝶閥是低溫儲運管路的核心流體控制設備，長期在-163℃超低溫工況運行，其密封面Flatn...

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2026

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07

大視野3D白光干涉儀解決激光共聚焦拼接波紋抖動難題（Larg...

在半導體、精密制造領域，工件直線度與微觀形貌的精準測量是質量管控的核心環節。激光共聚焦顯微鏡（Laser Confocal Microscope, LCM）拼接檢...

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