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火電高溫主蒸汽閥密封面平面度的白光干涉測量研究

摘要火電系統中，高溫主蒸汽閥密封面平面度直接決定蒸汽密封性能，其長期處于高溫高壓蒸汽工況下，易發生熱變形與磨損，導致平面度劣化、蒸汽泄漏。白光干涉測量技術憑借非接...

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白光干涉儀，芯片金屬凸塊及Bump Pattern 3D輪廓...

摘要在先進芯片封裝與高密度互連制程不斷迭代的背景下，芯片金屬凸塊及Bump Pattern圖形化凸點結構日趨微小化、陣列化與精細化。金屬凸塊與Bump Patte...

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煤粉/灰渣輸送閥密封面平面度的白光干涉測量研究

引言在煤化工、火力發電等工業領域，煤粉/灰渣輸送閥是保障物料密閉輸送的核心部件，其密封面平面度直接決定密封性能與設備運行穩定性。煤粉、灰渣等介質含硬質顆粒，對密封...

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白光干涉測量在軍機液壓 / 燃油閥平面度精密檢測中的應用

引言軍機液壓/燃油閥是航空動力與操控系統的核心部件，其密封面平面度精度直接關系飛行安全與裝備可靠性。軍機服役環境嚴苛，高頻振動、高低溫交替及燃油雜質沖蝕，易造成密...

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